依據(jù)美國聯(lián)邦政府頒布的標(biāo)準(zhǔn)【Federal Atandard（FS）209E，1992】，可將無塵室分為六級(jí)。分別是1級(jí)、10級(jí)、100級(jí)、1000級(jí)、10000級(jí)、100000級(jí)，如果無塵室的等級(jí)只用塵粒數(shù)目來敘述，則可假設(shè)塵粒的尺寸不是0.5um，無塵室等級(jí)應(yīng)以在一特定塵粒尺寸的級(jí)數(shù)來表示。例如：10級(jí)在0.2um（塵粒尺寸在0.2um或更大下，密度不大于75顆/立方英尺），1級(jí)在0.1um（塵粒尺寸在0.1um或更大下，密度不大于35顆/立方英尺）。而集成電路制造所需的無塵

室之潔凈度必須優(yōu)于1000級(jí)。

一、什么是無塵室

無塵室(Clean Room)，亦稱為無塵室或清凈室。它是污染控制的基礎(chǔ)。上海奧宣鋼結(jié)構(gòu)有限公司其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃?jí)別。無塵室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、經(jīng)典控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。

將空氣中之塵埃、壓力、溫度、濕度、氣流分布之情形及速度，控制于一定范圍內(nèi)之空間。此處所指

之塵埃為肉眼無法看見的灰塵及粒子，且指一般空氣清凈機(jī)無法完全清除之灰塵。

無塵室一般分為電子、精密工業(yè)用Industrial CleanRoom（ICR）；及需控制微生物濃度等制藥、食品產(chǎn)業(yè)用BiologicalCleanRoom（BCR）。

二、聯(lián)邦規(guī)格無塵室等級(jí)

現(xiàn)今一般多奉行與美國所制定的聯(lián)邦規(guī)格（U.S.Federalstandard209b），BCR則多參考明定生物粒子